壓力傳感器是工業(yè)實(shí)踐中常用的一種傳感器，它應(yīng)用廣泛，不僅可以測(cè)量壓力，還可以測(cè)量加速度、負(fù)荷、位移、流量等其他物理量。壓力傳感器廣泛應(yīng)用于水利水電、鐵路交通、智能建筑、生產(chǎn)自控、航空航天、軍工、石化、油井、電 力、船舶、機(jī)床、管道等工業(yè)自控環(huán)境中。
傳統(tǒng)的測(cè)力方法是利用彈性材料的形變和位移來表示，它的體積大、便攜性差 輸出信號(hào)是非電量。隨著微電子的發(fā)展，半導(dǎo)體壓力傳感器的出現(xiàn)，使壓力傳感器 有了長足進(jìn)步。
壓力傳感器的種類繁多.按照制作原理可以分為利用壓電效應(yīng)制成的壓電式傳 感器、利用壓阻效應(yīng)制成的壓阻式傳感器和利用應(yīng)變效應(yīng)制成的應(yīng)變式傳感器。這些傳感器利用不同的原理和不同的材料在不同場(chǎng)合發(fā)揮著重要作用。
壓電傳感器只能用于動(dòng)態(tài)測(cè)量，這是因?yàn)橥饬ψ饔迷趬弘娫袭a(chǎn)生的電荷只有在無泄漏的情況下才能保存，需要測(cè)量回路具有無限大的輸人阻抗，這實(shí)際上是不可能的，因此壓電式傳感器不能用于靜態(tài)測(cè)量。壓電傳感器主要應(yīng)用在加速度、 壓力和力等的測(cè)量中。
壓阻式傳感器對(duì)靜態(tài)和動(dòng)態(tài)的測(cè)量都能保持很高的精度，在航天航空這種對(duì)壓力精度要求特別嚴(yán)格的領(lǐng)域，壓阻式傳感器得到了廣泛的應(yīng)用。
應(yīng)變式傳感器廣泛用于力、力矩、壓力和加速度等參數(shù)的測(cè)量。
此外，壓力傳感器還有電感式壓力傳感器、電容式壓力傳感器、諧振式壓力傳感器及電容式加速度傳感器等。
壓力傳感器技術(shù)參數(shù)：
1.額定壓力范圍
額定壓力范圍是滿足標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定值的壓力范圍。也就是在最高和最低溫度之間，傳感器輸出符合規(guī)定工作特性的壓力范圍。在實(shí)際應(yīng)用時(shí)傳感器所測(cè)壓力在該范圍之內(nèi)。
2.最大壓力范圍
最大壓力范圍是指傳感器能長時(shí)間承受的最大壓力，且不引起輸出特性永久性改變。特別是半導(dǎo)體壓力傳感器，為提高線性和溫度特性，一般都大幅度減小額定壓力范圍。因此，即使在額定壓力以上連續(xù)使用也不會(huì)被損壞。一般最大壓力是額定壓力最高值的2－3倍。
3.壓力遲滯
為在室溫下及工作壓力范圍內(nèi)，從最小工作壓力和最大工作壓力趨近某一壓力時(shí)，傳感器輸出之差。
4.溫度范圍
壓力傳感器的溫度范圍分為補(bǔ)償溫度范圍和工作溫度范圍。補(bǔ)償溫度范圍是由于施加了溫度補(bǔ)償，精度進(jìn)入額定范圍內(nèi)的溫度范圍。工作溫度范圍是保證壓力傳感器能正常工作的溫度范圍。
5.損壞壓力
損壞壓力是指能夠加工在傳感器上且不使傳感器元件或傳感器外殼損壞的最大壓力。
6.線性度
線性度是指在工作壓力范圍內(nèi)，傳感器輸出與壓力之間直線關(guān)系的最大偏離。
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